每经AI快讯， 芯源微在承受调研时表明，此前公司首台浸没式高产能涂胶显影机顺畅运付客户现场，并完成了各项工艺验证及光刻机联机产能验证。机台与世界干流光刻机联机作业，完成了客户端十余款光阻、多层layer量产验证，数据均到达客户量产目标。浸没式高产能涂胶显影机的发布，标志着公司在前道涂胶显影范畴完成了对28nm及以上一切工艺节点的全掩盖，就可以完成全面国产代替。

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